KLA-Tencor正式推出基于 Linux 的新型产品 LithoWare,该系统可帮助半导体电路设计人员大幅度降低 RET* 和 OPC* 工艺开发的时间和成本。LithoWare是一款基于业内标准的PROLITH 模型的光刻优化工具,它允许客户同时优化 RET 和工艺条件,并将校准数据采集降至最少,从而有效缩短从设计到生产的时间。 “LithoWare 拥有无可比拟的预测精度以及在 Linux 计算机集群上运行的特性,它为 RET 开发人员提供了双项优势。”KLA-Tencor Corpo