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基于模型的建议：光刻友好设计成功的导航

  • 如今对于一些技术节点，设计人员需要在晶圆代工厂流片和验收之前进行光刻友好设计(Litho Friendly Design) 检查。由于先进节点的解析度增进技术(RET) 限制，即使在符合设计规则检查 (DRC) 的设计中，我们仍看到了更多的制造问题。
  • 关键字：模型光刻DRCMBH
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