- 英飞凌推出采用MEMS工艺并适用于消费类电子产品全自动生产流程的微型硅基麦克风 在2006慕尼黑国际电子元器件和组件贸易博览会上,英飞凌科技股份公司(FSE/NYSE: IFX)展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”硅基麦克风。该新型麦克风大约只有普通麦克风的一半大小,但其功耗仅为普通麦克风的三分之一。新型麦克风采用硅基MEMS(微型机电系统)工艺,具有与普通麦克风相同的声学和电学性能,但却更加结实耐用,耐热性能更强。新型麦克风为众多产品设计提供了更大的灵活性,同时为麦克风的集成
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mems工艺介绍
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