- 今天,KLA-Tencor 公司针对 10 纳米及以下的掩膜技术推出了三款先进的光罩检测系统,Teron™ 640、Teron™ SL655 和光罩决策中心 (RDC)。所有这三套系统是实现当前和下一代掩膜设计的关键,使得光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著并严重损害成品率的缺陷。 利用创新的双重成像技术,Teron 640 检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度,对先进的光罩进行准确的品质检验。Teron SL655 检测系统采用全新的 STARlightGol
- 关键字:KLA-TencorSL655
sl655介绍
您好,目前还没有人创建词条sl655!
欢迎您创建该词条,阐述对sl655的理解,并与今后在此搜索sl655的朋友们分享。
创建词条
关于我们-
广告服务-
企业会员服务-
网站地图-
联系我们-
征稿-
友情链接-
手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案:1101082052 京公网安备11010802012473