- 半导体硅晶圆厂环球晶圆日前宣布，与晶圆代工厂格芯（GlobalFoundries）签订合作备忘录，环球晶圆将长期供应12英寸绝缘层上覆硅（SOI）晶圆给格芯。
- 关键字：环球晶圆格芯SOI晶圆
- 不久前在日本京都举行的VLSI技术研讨会上提交的研究结果显示，采用超薄衬底的SOI晶圆和22纳米工艺制造的器件和采用体硅晶圆、22纳米工艺制造的器件相比，性能的提高达到了25%。包括MEMC、SEH、Soitec等在内的几家主要SOI晶圆供应商表示，他们已经为超薄衬底的SOI晶圆的规模化生产做好了准备。这些绝缘层上硅的厚度只有不到10纳米，而且均匀性控制在艾米量级SOI晶圆对生产合格的全耗尽型晶体管是至关重要的。
- 关键字：SOI晶圆22纳米
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