- 制造SiC功率元件不可缺少的SiC基片(晶圆)的品质在不断提升。不仅是目前主流的直径为4英寸(100mm)的产品，6英寸(150mm)产品的结晶缺陷也越来越少。 美国科锐(Cree)在SiC基片市场上占有较高份额，从该公司在SiC国际学会“ICSCRM2013”(2013年9月29日～10月4日于日本宫崎县举行)上发表的内容来看，截至2013年，功率元件用6英寸产品的微管密度在1个/cm2以下，平均水平为0.5个/cm2左右，较好时可达到0.01个/cm2。据估算，采
- 关键字：科锐SiC基片
sic基片介绍
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