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KLA-Tencor宣布安装处理450mm硅片的Surfscan®SP3系统

  • KLA-Tencor 公司(纳斯达克股票代码：KLAC)日前宣布其第一台能够检测 450mm 硅片的半导 体制程控制系统已装机 。该系统被命名为 Surfscan SP3 450, 是市场领先的 Surfscan® SP3 平台的最新配置。这种全自动化的无图案硅片检测系统是为满足 20nm 及以下制程缺陷与表面品质特性的严格要求而专门设计。
  • 关键字：KLA-TencorSurfscan硅片
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