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威格斯SEMICON China 2007展示其半导体行业的系列专有技术

• 　　英国威格斯公司在中国国际半导体设备与材料展览会暨研讨会 (SEMICON China 2007) 的3309号展台上，展示公司在半导体领域的一系列专有技术。 　　在展示的多种应用中包括了CMP保持环与晶圆转运箱。VICTREX PEEK正被广泛认同为晶圆传输与储存应用的首选材料，尤其是前开式晶圆盒（FOUP）与晶圆转运箱。随着晶圆尺寸、产量及单个晶圆成本逐渐增大，通过降低因不同工艺步骤产生的晶圆污染与损失而提高产量的压力越来越大。 　　要达到这个目标，
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