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化学气相沉积平台文章进入化学气相沉积平台技术社区

诺发推出300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积平台的最新增强版本

  • 　　中国上海—诺发系统有限公司正式推出VECTOR Express™新产品。VECTOR Express™是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40%，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。 　　VECTOR Express之所以
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化学气相沉积平台介绍

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