- 本文针对等离子消毒系统所用传统射频电源工作效率低、稳定性及可靠性差等关键技术问题，采用固态射频大功率场效应管设计射频电源。该射频电源工作频率为13.56 MHz，实测输出功率大于500 W，电源转换效率大于70%。通过与等离子消毒柜用户紧密合作，所设计的固态射频电源达到了良好的预期效果。
- 关键字：射频电源高可靠高效率202102
射频电源介绍
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