- 1前言透明导电氧化物薄膜(TCO薄膜)有着广泛的用途,如作为LCD、OLED显示器面板的电极,作为触摸屏的感应电极,作为薄膜太阳能电池的电极以及作为LED芯片前电极等[1]。目前,主要的TCO薄膜有氧化铟锡(ITO)、氧化锡(Sn
- 关键字:电源技术薄膜TCO沉积磁控
- 对于SOl波导来说,CVD技术一般用来淀积其上包层,通常为二氧化硅或氮化硅。对于调制器等有源器件来说,这一层还起着隔离金属电极减小电极对波导造成损耗的作用,所以厚度一定要选择合适,不能太薄,如果薄了就不能起
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