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使用白光干涉仪过程中的疑问

1、问：测量到最小尺寸能否达到12ΜM，或者能够测到更小尺寸？答：可以，垂直分辨率是0.1nm，XY分辨率依物镜而有...
关键字：白光干涉仪分辨率扫瞄器

共1条 1/11

白光干涉仪介绍

　　白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。　　1、非接触式测量：避免物件受损。　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。　　4、纳米级分辨率：垂直分 [ 查看详细]

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