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硅微文章进入硅微技术社区

有机械耦合的电容式硅微陀螺敏感信号读取

  • 一、前言 硅微机械传感器是用半导体硅加工工艺实现的传感器。体积小使其获得广泛的应用前景。但是由于体积小，微小的绝对机械误差却产生较大的相对误差，带来运动交互干扰，即机械耦合问题。电容式硅微机械陀
  • 关键字：机械耦合电容式硅微读取
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硅微介绍

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