- 前言脉冲电镀是通过槽外控制方法改善镀层质量的一种强有力的手段，相比于普通的直流电镀镀层，其具有...
- 关键字：脉冲电镀电源工作原理
- 针对先进纳米Cu互连技术的要求，比较了直流和脉冲两种电镀条件下Cu互连线的性能以及电阻率、织构系数、晶粒大小和表面粗糙度的变化。实验结果表明，在相同电流密度条件下，脉冲电镀所得cu镀层电阻率较低，表面粗糙度较小，表面晶粒尺寸和晶粒密度较大，而直流电镀所得镀层(111)晶面的择优程度优于脉冲。在超大规模集成电路Cu互连技术中，脉冲电镀将有良好的研究应用前景。
- 关键字：直流脉冲电镀互连线性能比较
脉冲电镀介绍
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