- SAFC Hitech今天藉由投资数亿台币的台湾高雄新厂设施落成，来强调承诺开发亚太电子市场。新厂占地270, 000 平方英尺，大幅增加了该厂量产的高亮度LED (HBLED) 所使用的高品质三甲基镓 (TMG) 、三乙基镓 (TEG) 和三甲基铟 (TMI) 的产能。该厂也将继续为硅半导体市场制造原子层沉积 (ALD) 和化学气相沉积 (CVD) 的前驱体，并提供亚太地区分装及技术的服务和支援。 作为微电子和光电市场薄膜沉积制程所使用的超高纯度金属有机物和硅前驱体的供应商，SAFC Hite
- 关键字：LED薄膜沉积制程
薄膜沉积制程介绍
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