光刻2

光刻2
光刻胶

光刻胶的组成：由光敏化合物（PAC)、基体树脂和有机溶剂等
第六章 光刻工艺II 混合而成的胶状液体。都是碳基有机化合物。
当受到特定波长光线的作用后
，光刻胶会发生化学反应，使
光刻胶在某些特定溶液（显影
岳瑞峰 液）中的溶解特性发生改变。

正性胶和负性胶。
清华大学微电子所 曝光前对显影液不可溶
而曝光后变成可溶的。