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最新!重磅!荷兰宣布对中国限制出口部分DUV光刻机!

发布人:芯片行业 时间:2023-05-17 来源:工程师 发布文章

据路透社报道,周三荷兰政府宣布计划对半导体技术的出口实施新的限制措施,将部分DUV光刻机加入到出口限制范围内,以保护国家安全,加入了美国对中国芯片的制裁行动。

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美国于去年十月对向中国出口美国芯片制造工具实施了全面的出口限制措施,但为了使这些限制措施生效,美国需要荷兰和日本等其他关键设备商协同限制。这些盟友国家已经就此事进行了数月的谈判。


荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher在一封致议会的信中宣布了这一决定,表示这些限制措施将在夏季之前实施。贸易部长的信中没有提到荷兰的主要贸易伙伴中国,也没有提到欧洲最大的科技公司、半导体制造商的重要供应商阿斯麦ASML,但显然两者都将受到影响。信中指明了一种技术将受到影响,即“DUV”光刻系统,这是ASML向芯片制造商销售的第二先进的光刻机。


信中说:“由于荷兰认为有必要出于国家安全考虑尽快对这项技术进行监管,内阁将引入国家管制清单。”


ASML在回应中表示,它预计将不得不申请出口DUV机器中最先进部分的许可证,但这不会影响其2023年的财务指引。


ASML从未向中国客户销售其最先进的EUV光刻机,但其DUV光刻机却大量出口到中芯国际长江存储等中国主要的芯片制造商。
荷兰的声明留下了一些重要问题未解答,包括ASML能否为自2014年以来向中国客户出售的80多亿欧元的DUV机器提供服务。

业内人士认为,此禁令预计将包括DUV光刻机中最先进的型号NXT2100和NXT2050的出口,目前尚不清楚是否会包括NXT2000和NXT1980这两种次先进的DUV光刻机,而这两种型号的光刻机是国内大部分芯片厂商最主流的光刻机机型。如果这两种也被包括在荷兰出口禁令中,无疑会对中国半导体制造行业造成地震式的重大影响。


Schreinemacher表示,荷兰政府已经“尽可能谨慎和精确地”决定了措施,“以避免价值链不必要的中断”,“相关的公司(ASML)需要知道他们面临的情况,并有时间来适应新规则。”

预计日本也即将在本周发布有关其芯片设备出口的限制措施。


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关键词:DUV芯片

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