IBM展示基于极薄SOI衬底的22nm技术

IBM研究人员开发出了基于极薄SOI(ETSOI)的全耗尽CMOS技术，面向22nm及以下节点。

　　在IEDM会议上，IBMAlbany研发中心的Kangguo Cheng称该FD-ETSOI工艺已获得了25nm栅长，非常适合于低功耗应用。除了场效应管，IBM的工程师还在极薄SOI衬底上制成了电感、电容等用于制造SOC的器件。

　　该ETSOI技术包含了几项工艺创新，包括源漏掺杂外延淀积(无需离子注入)，以及提高的源漏架构。

　　该技术部分依赖于近期SOI晶圆供应商推出了硅膜厚度为6nm的SOI晶圆。