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全球排名前十的半导体设备厂商详解

作者: 时间:2016-09-28 来源:芯闻时间 收藏
编者按:毫无疑问,中国在未来几年在半导体设备方面有高速增长的需求,但与高速增长需求不相匹配的是,国产半导体设备,尤其是在高端设备的缺失,提升了中国半导体产业的准入门槛。

  一、应用材料

本文引用地址://m.amcfsurvey.com/article/201609/310526.htm

  按维基百科,应用材料公司是全球最大的半导体设备和服务供应商。应用材料公司创建于1967年,公司总部位于美国加利福尼亚州圣克拉拉。应用材料公司1984年进入中国,目前在上海,北京,天津,苏州,无锡等地有办事处或仓库,在西安设有太阳能开发中心。

  应用材料公司的主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积,物理气相沉积,化学气相沉积,电镀,侵蚀,离子注入,快速热处理,化学机械抛光,测量学和硅片检测等。应用材料公司每年的研究经费达到约10亿美元。

  应用材料公司Applied Materials(AMAT)历史沿革:

  1967年,Michael A. McNeilly创立应用材料公司;

  1972年,Applied Materials公开交易;

  1984年,应用材料公司进入中国,目前在上海,北京,天津,苏州,无锡等地有办事处或仓库,在西安设有太阳能开发中心(详见下文);

  1996年11月,应用材料公司收购两家以色列公司:1.75亿美金收购Opal Technologies、1.1亿美元收购Orbot Instruments;

  2000年,Applied Materials收购Etec Systems, Inc.;

  2011年6月27日,应用材料公司以2100万美金收购以色列公司OramirSemiconductor Equipment Ltd.;

  2008年1月,Applied Materials购买意大利公司Baccini;

  2009年,应用材料公司在中国陕西西安开设了其太阳能技术中心(Solar Technology Center)—是目前全球最大的商业太阳能能源研究和发展机构/设施;

  2009年12月,Applied Materials完成对Semitool Inc.的收购;

  2011年5月,Applied Materials宣布收购Varian Semiconductor;

  2013年9月24日,应用材料宣布将透过换股方式,作价90亿美元收购主要竞争对手东京电子(Tokyo Electron),2015年4月28日,应用材料与东京电子表示将取消业务合并计划,因该合并未获得美国司法部认可。


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  二、ASML

  阿斯麦公司(台译:艾司摩尔控股公司)ASML Holding NV创立于1984年,前称ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改为现用名,总部位于荷兰费尔德霍芬(Veldhoven),全职雇员12,168人,是一家半导体设备设计、制造及销售公司。

  公司主要从事半导体设备的设计、制造及销售,ASML公司主要专精于晶片制造微缩影设备之设计制造与整合,积体电路生产流程中,其关键的制程技术则是微缩影(lithography)技术将电路图影像投射在晶片上之曝光。业务范围遍及全球,生产与研发单位则分别位于美国康乃狄克州、加州,台湾以及荷兰。

  阿斯麦公司在世界14个国家和地区有50个子公司和生产据点,主要产品是用来生产大规模的核心设备光刻机,在世界同类产品中有90%的市占率。

  阿斯麦公司(艾司摩尔控股)ASML Holding(ASML)简史:

  1984年,艾司摩尔从荷兰著名电子制造商飞利浦独立,此后致力于大规模制造设备的研究和制造。根据摩尔定律不断为提高单位面积集成度作贡献。2007年已经能够提供制造37nm线宽的光刻机。

  制造大规模集成电路时要对半导体晶圆曝光3,40次。如何在不降低品质的情况下,减少曝光次数是曝光机的发展方向。阿斯麦公司使用德国蔡斯公司的光路系统。镜头使用萤石和石英制造。

  曝光机是高附加值产品,一台新的曝光机动辄3000至5000万美元。但是研发周期长投入资金也相当巨大。

  阿斯麦公司为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix,KSE:000660),台积电(TSMC),联电((NYSE:UMC)),格罗方德(GlobalFoundries,格罗方德成立于2009年3月2日,是从美国AMD公司制造部门分拆出。母公司分别为AMD及阿布扎比的Advanced Technology Investment Company(ATIC),其中ATIC占公司股权65.8%)及其它台湾十二吋半导体厂。

  目前(截至2012年,现在的不知道,谁清楚请告知)已经商用的最先进机型是Twinscan XT 1950i,每小时单位产出为260片(WPH)12吋芯片,属于浸润式(immersion)光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。

  除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,阿斯麦公司还在积极与IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前阿斯麦公司已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36nm NAND Flash,基于的便是双重曝光技术(double patten)。

  2012年7月10日,英特尔斥资41亿美元收购荷兰芯片设备制造商阿斯麦公司的15%股权,另出资10亿美元,支持阿斯麦公司加快开发成本高昂的芯片制造科技。先以21亿美元,收购阿斯麦公司10%股权,待股东批准后,再以10亿美元收购5%股权,投注金额将以发展450mm机台以及EUV研发制造10nm技术为两大主轴。

  2012年8月5日,台积电宣布加入荷兰阿斯麦公司所提出的“客户联合投资专案”(Customer Co-Investment Program),根据协议,台积电将投资ASML达8.38亿欧元,取得阿斯麦公司约5%股权,未来5年并将投入2.76亿欧元,支持阿斯麦公司的研发计划。

  2012年8月27日,三星宣布斥资5.03亿欧元入股以荷兰为基地的芯片商阿斯麦公司3%股权,并额外注资2.75亿欧元合作研发新技术。

  2012年10月17日,ASML Holding NV(ASML)与Cymer (原NASDAQ:CYMI)宣布签订合并协议,阿斯麦公司将以19.5亿欧元收购Cymer所有在外流通股票,收购Cymer目的在于加速开发Extreme Ultraviolet半导体蚀微影技术,两家公司董事会一致通过这件交易,Cymer股东将以每股收取20万美元现金和1.1502股ASML普通股,收购价比Cymer过去30日均价高出61%。


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关键词:集成电路传感器

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