全球排名前十的半导体设备厂商详解

　三、Tokyo Electron

　　东京电子 成立于1963年，为全球第三大半导体设备生产商，提供给半导体与平面显示器产业。

　　半导体生产设备，包括涂布机、电浆蚀刻系统、热加工系统、单晶片沉积系统、清洗系统，用于晶圆生产流程，还提供晶圆探针系统。平板显示器生产设备，包括平面显示镀膜机、平面电浆蚀刻，及电浆体化学气相沉积系统用于薄膜矽太阳能电池。

　　东京电子发展历程：

　　1963年11月 - 由东京放送(TBS)成立东京电子研究所

　　1978年10月 - 东京电子研究所更名为东京电子

　　1980年?6月 - 在东京证券交易所第2部上市

　　1984年 3月 - 升格为在东京证券交易所第1部上市

　　1990年8月 - 成立东电FE，开始研发制造LCD和FPD的设备

　　1994年 8月 - 总公司地址搬到赤坂TBS放送中心

　　2006年 4月 - 分割为东电AT，东电九州和东电软件技术三个子公司

　　2008年 2月 - 和夏普合资成立东京电子PV

　　2013年 9月 - 和应用材料合并

　　2015年 4月 - 应用材料与东京电子表示将取消业务合并计划，理由是该计划未获得美国司法部认可。

　　四、Lam Research

　　Lam Research Corporation成立于1980年，总部位于美国加州，是一家向全球半导体产业提供晶圆制造设备和服务的供应商。

　　公司主要设计、制造、行销、维修及服务使用于积体电路制造的半导体处理设备，此外，还提供单晶圆清洁技术的多样组合。

　　旗下子公司Customer Support Business Group提供可强化设备效能及效率的产品与服务。该公司提供服务的范围包括客户服务、备用零件的供应、产品升级、产品蚀刻、沉积、去除光阻及清洁等服务，并还制造、销售一系列的研磨、叠置及精密抛光等设备。2012年6月，公司完成与Novellus Systems， Inc.合并。

　　科林研发公司(拉姆研究)Lam Research(LRCX)历史沿革：

　　1980，David K. Lam创立科林研发公司;

　　1981，发布第一款产品——AutoEtch 480;

　　1984，首次公开发行IPO，登陆纳斯达克;

　　1985，发布第一款oxide etch system——AutoEtch 590

　　1987，将总部搬到弗里蒙特Cushing Parkway，发布Rainbow 4400 Etch Series;

　　1990，进入中国大陆市场;

　　1997，收购OnTrak Systems， Inc.;

　　2001，获得ISO 9001:2000质量体系认证;

　　2002，开设新品&技术发布网站MyLam.com;

　　2003，取得ISO 14001环境管理体系认证;

　　2012年6月4日，Lam Research Corp.完成与加州上市公司诺发系统Novellus Systems， Inc.的合并。

　　2015年10月21日，科林研发公司宣布将斥资106亿美元， 以现金加股票的方式收购同业的美国半导体设备厂商科磊半导体(KLA-Tencor )。

　　五、KLA-Tencor

　　科磊半导体(或：科天半导体、美商科磊股份有限公司)KLA-Tencor Corporation创立于1975年，总部位于美国加州米尔皮塔斯，全职雇员5，880人，是全球前十大IC设备生产厂商，拥有晶圆检测与光罩检测系统。

　　KLA-Tencor Corporation是一家从事半导体及相关纳米电子产业的设计、制造及行销制程控制和良率管理解决方案商，其产品包括晶片制造、晶圆制造、光罩制造、互补式金属氧化物半导体(CMOS)和图像感应器制造、太阳能制造、LED制造，资料储存媒体/读写头制造、微电子机械系统制造及通用/实验室应用等。

　　此外，科磊半导体公司还提供翻新的KLA-Tencor工具，连同其KT认证计画予客户制造更大的设计规则装置及产品支援服务。公司产品应用于许多其他行业，包括LED，资料储存和太阳能等产业，以及一般材料的研究。

　　科磊半导体(科天半导体)KLA-Tencor Corp(KLAC)历史沿革：

　　1975年，Ken Levy 和 Bob Anderson创立KLA Instruments，是KLA-Tencor Corporation的前身之一;

　　1997年，KLA Instruments 与同业公司 Tencor Instruments合并，成立KLA-Tencor;

　　1998年，KLA-Tencor收购Amray Inc.、Nanopro GmbH、Keithley Instruments， Inc.的 Quantox产品线、VARS、Uniphase Corporation的Ultrapointe分公司;

　　1999年，科磊半导体收购ACME Systems Inc.;

　　2000年，KLA-Tencor收购FINLE Technologies， Inc.，并从ObjectSpace Inc.手里收购了Fab Solutions;

　　2001年，收购Phase Metrics;

　　2004年，收购Candela Instruments及Inspex， Inc.的硅片检测系统业务;

　　2006年，收购ADE Corporation;

　　2007年，收购OnWafer Technologies、SensArray Corporation以及Therma-Wave Corporation;

　　2008年，收购ICOS Vision Systems Corporation NV、以及Vistec Semiconductor Systems的微电子检测设备业务单元;

　　2010年，收购Ambios Technology;

　　2014年，收购Luminescent Technologies;

　　2015年10月21日，科林研发公司宣布将斥资106亿美元， 以现金加股票的方式收购科磊半导体(KLA-Tencor )