芯源微广州子公司光刻胶泵及高纯供液系统产业化项目开工

4月25日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）广州子公司——广州芯知科技有限公司半导体设备光刻胶泵及高纯供液系统研发及产业化项目开工仪式在广州举行。

据官网介绍，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于提供半导体装备与工艺整体解决方案。

芯源微所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

芯源微于2019年12月16日在上交所科创板上市。公司总部位于沈阳市浑南区，并在上海临港设有全资子公司，总部占地4万平米，拥有集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。

此前3月19日，芯源微上海临港厂区正式竣工投产。资料显示，上海芯源微企业发展有限公司成立于2021年，是芯源微的全资子公司。上海芯源微主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化，

2022年，上海芯源微承担建设的“芯源微临港研发及产业化”项目主体工程在临港新片区重装备产业区全面开工，园区占地45亩、规划总建筑面积约5.4万平方米，将于2023年第四季度竣工，建成后将具备较强的国际先进水平半导体设备研发能力。