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光刻机文章进入光刻机技术社区

投资5000多万俄罗斯计划研发全新EUV光刻机：ASML都没有

光刻机是半导体制造中的核心设备之一，EUV光刻机全球也只有ASML公司能够研发、生产，但它的技术限制也很多，俄罗斯计划开发全新的EUV光刻机，使用的是X射线技术，不需要光掩模就能生产芯片。　　光刻机的架构及技术很复杂，不过决定光刻机分辨率的主要因素就是三点，分别是常数K、光源波长及物镜的数值孔径，波长越短，分辨率就越高，现在的EUV光刻机使用的是极紫外光EUV，波长13.5nm，可以用于制造7nm及以下的先进工艺工艺。　　俄罗斯莫斯科电子技术学院 (MIET)现在就接下了贸工部的6.7亿卢布资金(约合51
关键字：光刻机 ASML

光刻机“电老虎” 中芯国际一年耗电29亿度：不到台积电零头

芯片制造是公认的高科技，但是这也是个非常消耗电力及水力的行业，其中的关键设备光刻机就是名副其实的电老虎，EUV光刻机一天就能耗电3万度以上，导致晶圆生产中电费都是高成本的存在。那国内最大的晶圆制造企业中芯国际到底有多耗电呢？该公司日前也发布了企业责任报告，公布了2021年度的能耗情况，具体如下：2021年，中芯国际能源消耗总量为2,887.69百万千瓦时，能源消耗强度为12.77千瓦时 /8 吋晶圆当量-光罩数，与 2020年基本相当。简单来说，中芯国际去年的总能耗大概是28.9亿度电，其中直接的电力消耗
关键字：中芯国际光刻机台积电

佳能将于2023年上半年发售3D半导体光刻机，曝光面积是现在的4倍

4 月 1 日消息，据日经中文网报道，佳能正在开发用于半导体 3D 技术的光刻机。佳能光刻机新品最早有望于 2023 年上半年上市。曝光面积扩大至现有产品的约 4 倍，可支持 AI 使用的大型半导体的生产。3D 技术可以通过堆叠多个半导体芯片使其紧密连接来提高性能的方式。据介绍，在放置芯片的板状零部件上，以很高的密度形成以电气方式连接各个芯片的多层微细布线，佳能就正在开发用于形成这种布线的新型光刻机，过在原基础上改进透镜和镜台等光学零部件，来提高曝光精度以及布线密度。据称，普通光刻机的分辨率为十几微米，但
关键字：佳能 3D半导体光刻机

攻克“光源中的光源”，中国有机会

当前，芯片问题广受关注，而半导体工业皇冠上的明珠——以极紫外（EUV）光刻机为代表的高端光刻机，则是我国集成电路（IC）产业高质量发展必须迈过的“如铁雄关”。如何在短期内加快自主生产高端光刻机的步伐，打破国外的技术封锁和市场垄断？笔者认为，应找准关键技术，攻克核心设备，跻身上游产业。认清光刻关键技术对于光刻机，凭什么美国可以左右荷兰阿斯麦公司（ASML）EUV光刻机的出海国家？ASML又为什么“愿意”听从美国的“摆布”？一方面，美国在ASML早期研发阶段给予大力扶持，帮助其获取最新的研究成果；作为继续扶持
关键字：光刻机 ASML

总投资155亿国产CMOS传感器工厂又迎来一台ASML先进光刻机搬入

日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入。据格科微表示，目前，格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收，相关厂务系统配备进展顺利，共有六十一台设备已经搬入。未来，外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。格科微表示，ArF光刻机的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。依托自有工厂即格科半导体的先进制程，格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，从而极大缩短高端产品从研
关键字：CMOS传感器 ASML 光刻机

光刻机巨头阿斯麦 ASML 将于新加坡扩建新产线

3 月 29 日消息，光刻机巨头阿斯麦 ASML 在新加坡一间工厂的开幕式上宣布，将在该工厂兴建第二座制造车间，预计将于 2023 年初投产。扩建后的工厂将让该公司在新加坡的产能增加 3 倍，全球产能倍增。ASML 是世界领先的科技公司之一，全球半导体价值链的主要参与者。这里设计的技术和机器有助于在新加坡、韩国或美国生产芯片。世界上最大的芯片制造商们都需要这种设备。在生产处理器芯片的过程中，EUV 光刻机最昂贵。目前全世界只有阿斯麦（ASML）能制造出 EUV 光刻机。在过去的十年时间里，阿斯麦总共售出大
关键字：光刻机阿斯麦 ASML 新加坡

光刻机传来新消息，台积电不得不接受现实

台积电正在加快芯片产能，不管是成熟工艺还是高端芯片，台积电都具备强劲的制造实力。但台积电并没有就此止步，仍积极开展美国，日本的新建工厂计划。因此台积电在未来还会有更多的产业链采购需求，可是光刻机传来新消息，ASML表态产能供应不足。ASML为何会出现产能不足的情况呢？光刻机供应紧张，对台积电影响几何呢？关于光刻机供货，ASML发出警告ASML生产的光刻机遍布世界各地，交付到各个芯片制造商手中，或者提供给一些厂商进行生产研究。根据光刻机的需求不同，覆盖领域也是不一样的，从芯片制造产业到光刻胶材料生产，以及封
关键字：光刻机台积电

ASML发出产能预警芯片制造商面临先进光刻机供应短缺的瓶颈

受近年芯片供应持续短缺的影响，我们已经看到了位于世界各地的多个晶圆厂的建设公告。但是在投入实际生产之前，这一切都受到荷兰阿斯麦（ASML）的光刻机供应的限制。ASML 首席执行官 Peter Wennink 刚刚发出警告，称该公司难以满足客户的产品需求。据悉，ASML 专注于生产适用于半导体行业的各种类型的光刻机，且在该领域处于世界领先地位，客户中包括了英特尔、台积电、三星等芯片巨头。然而最新消息是，至少在未来几年内，ASML 都无法顺利交付所有订单。即使今年预期的光刻机出货量高于去年，但明年的增势并未放
关键字：光刻机 ASML 芯片制造

ASML的大股东究竟是谁？真的是英特尔、三星、台积电？

众所周知，ASML是全球最牛的光刻机厂商，能够用于7nm及以下芯片制造的EUV光刻机，只有ASML能够生产。而ASML生产的EUV光刻机，一般也是优先供应给intel、台积电、三星这三家厂商，其它的厂商要等这三家厂商买剩了后，才可能会轮到。为什么ASML会优先卖给这三家厂商呢？第一是这三家厂商是大客户，必须要优特，第二则是很多人说，这三家厂商是ASML的股东，所以当然要先照顾股东。那么问题就来了，ASML的股东究竟是谁，英特尔、三星、台积电真的是ASML的股东么？关于ASML的由来，可以追溯到1984年，
关键字：光刻机英特尔三星台积电 ASML

格科微临港12吋CIS项目迅速推进，ASML先进ArF光刻机正式搬入

3月24日上午10:18，在严格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情况下，格科微顺利举办ASML先进ArF光刻机搬入仪式。格科半导体SVP李朝勇、各部门总监、光刻团队及厂务团队出席仪式，共同见证了公司这一里程碑式的重要时刻。目前，格科微有限公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成，并于2022年2月16日开始主设备的搬入安装。在3月24日，格科半导体再次迎来了建厂重要标志性时刻，整套生产线中的最关键设备——ASML先进ArF光刻机成功搬入。ArF光刻机的
关键字：光刻机格科微 ASML

阿斯麦CEO：不卖EUV给中国大陆“是政府们的选择”

（原标题：光刻机巨头阿斯麦CEO：不卖EUV给中国大陆“是政府们的选择”）【文/观察者网吕栋】“这不是我们的选择，而是政府们（《瓦森纳协定》成员国）的选择。”日前，荷兰光刻机巨头阿斯麦CEO温彼得再次就向中国大陆出口EUV光刻机一事解释道。他今年1月曾表示，中国不太可能独立复制出（replicate）顶尖的光刻技术，但也别那么绝对，“他们肯定会尝试”。观察者网注意到，由于最先进的EUV设备无法向中国大陆出口，温彼得自2021年以来曾多次发声。2021年4月，他曾喊话美国政府，对华出口管制不仅不能阻碍中国
关键字：阿斯麦CEO EUV 光刻机

每台售价2亿美元阿斯麦的EUV光刻机为什么别人还造不了

　　3月24日消息，在荷兰南部靠近比利时边境的维尔德霍温镇，坐落着全世界唯一一家能够组装EUV（极紫外）光刻机的工厂。　　世界上最大的芯片制造商们都需要这种设备。在生产处理器芯片的过程中，EUV光刻机最昂贵。目前全世界只有阿斯麦（ASML）能制造出EUV光刻机。　　美国塔夫茨大学弗莱彻学院助理教授克里斯·米勒(Chris Miller)表示：“阿斯麦在制造EUV光刻机方面拥有市场垄断地位。EUV光刻机是最先进的光刻设备，我们今天使用的每一块先进处理器芯片都需要这种设备。”“他们生产的每一台机器都是有史以来
关键字：阿斯麦光刻机

ASML：努力向中国提供一切能够提供的技术

芯片行业一直是困扰全球的“卡脖子”领域，而其中核心的光刻机技术被几家公司牢牢的攥在手里。想要在芯片领域有长足的进步，光刻机这种核心设备就要有所突破。而之前美国通过自身在全球市场的控制能力，通过修改法案等手段一直将光刻机设备和技术限制对中国进行输出。但近期光刻机头部企业ASML则明确表态将会尽其所能向中国市场提供一切他们能够提供的技术，其中DUV光刻机将会不需要认可许可即可向中方企业提供。ASML光刻机除此之外，ASML表示在当前法律框架之下，他们除了EUV光刻机无法向中方企业提供，其他产品都可以正常发售。
关键字：ASML EUV 光刻机

单台1.5亿美元 ASML制造新一代EUV光刻机

据《连线》杂志报道，在美国康涅狄格州郊区的一间洁净室中，ASML的工程师们正在为一台单台造价1.5亿美元的新机器制造关键部件，该部件是新一代EUV系统的组成部分，会采用一些新技术来最大限度地减少其使用的光波长，包括缩小芯片的特征尺寸并提升性能。ASML的工程师正在装配系统组件（图片来自ASML）要知道，当前的EUV机器已经像一辆公共汽车那么大，包含10万个零部件和两公里长的电缆，运输这些组件需要40个货运集装箱、三架货机和20辆卡车，能够买得起这种设备的公
关键字：ASML EUV 光刻机

阿斯麦的新一代EUV光刻机：造价1.5亿美元公共汽车大小

　　9月2日消息，荷兰阿斯麦的新一代极紫外（EUV）光刻机每台有公共汽车大小，造价1.5亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。　　在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里，工程师们已经开始为一台机器制造关键部件，这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。　　这台极紫外光刻机是由荷兰阿斯麦公司制造的。阿斯麦于2017年推出世界上第一台量产的极紫外光刻机，在芯片制造领域发挥着至关重要的作用，已经被用于制造iPhone手机芯片以及人工智能处理器等最先进的芯片。阿斯
关键字：阿斯麦 EUV 光刻机

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光刻机介绍

国外半导体设备我公司拥有国外半导体设备,包括台湾3S公司生产的光刻机,涂胶台, 金丝球焊机,电子束蒸发台。溅射台及探针台等各种设备,世界知名划片机企业英国Loadpoint公司生产的6英寸--12英寸精密划片机，300毫米清洗机,。如您感兴趣请登录以下网站或Email: 网址:http://www.loadpoint.com.cn www.chihoc [ 查看详细]