AMHS
FabEX是一种优化的、“无需等待”的自动物料传送系统，拥有其专利技术，传送晶圆盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能缩短生产周期，提高设备的利用率和增加生产产能。与采用传统运输装置或者悬吊式搬运车辆的AMHS......[查看详细]
